☆ 其转子轴垂直安装,只有(yǒu)一组抽气组合叶列。转子叶轮高速旋转时,被抽气體(tǐ)沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩,被驱向前级,由前级泵抽走泵由泵壳、涡轮叶列组件和電(diàn)动机等组成。
☆ 现代涡轮分(fēn)子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很(hěn)安全立式泵的装配工艺要比卧式泵简单,所以立式泵发展很(hěn)快。
☆ 轴承润滑方式有(yǒu)油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。
☆ 分(fēn)子泵轴承润滑油的性能(néng)必须具备以下三个条件,才能(néng)满足泵的工作要求: a. 高速下具备良好的润滑性能(néng); b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压. c. 粘度适当,使之兼有(yǒu)轴承冷却液的作用(yòng)。
☆ 泵工作时振动的产生及其减振措施保证分(fēn)子泵工作精度的最主要问题是尽量减少泵工作时的振动。
☆ 组成分(fēn)子泵的零部件以及安放它的基础,都可(kě)以认為(wèi)是一个弹性系统。当分(fēn)子泵高速运转工作时,泵在其平衡位置作往复性机械运动,即是分(fēn)子泵的振动。
☆ 分(fēn)子泵的振动,主要是其振动零部件的不平衡引起的,主要因素有(yǒu): 涡轮转子以及電(diàn)动机主轴的不平衡是产生振动的主要来源。
☆ 从涡轮转子的结构看,影响其平衡的原因有(yǒu): 1) 转子的材质不均 ( 包括密度不均和膨胀系数的不均 ) ; 2) 涡轮转子的各组成零件在制造中的加工误差,如同轴度、转子端面的平行度、转子體(tǐ)的不对称性等等; 3) 转子的装配质量。
☆ 如涡轮转子上下叶轮因装配不当产生偏差;涡轮转子在電(diàn)动机轴上装得不正;或装配时压紧力不足,高速运转后产生松动等。
☆ 以上诸因素会造成涡 轮转子的质量分(fēn)布不均,形成一定的质量偏心,当转子转动时产生不平衡的离心力,从而使分(fēn)子泵产生有(yǒu)害的振动和噪音。
☆ 由于涡轮分(fēn)子泵的转速很(hěn)高,因此防止产生共振也是一个重要问题。在分(fēn)子泵的设计中应正确地选用(yòng)工作转速和合理(lǐ)地设计電(diàn)动机的主轴。
☆ (主轴的支承条件,如轴承的精度、安装方式、润滑条件等对分(fēn)子泵的振动也将产生较大的影响為(wèi)了减少分(fēn)子泵整机工作时的振动,在泵的设计制造中应采取以下措施: 在工艺条件允许的情况下,尽可(kě)能(néng)提高零部件的加工精度。
☆ 对電(diàn)动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。
☆ 為(wèi)了防止产生共振,确保泵安全运转,泵设计时,应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。
☆ 在轴的初步设计时,应对其临界转速进行验算,至少使其与工作转速相差 20 %左右,否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。
☆ 对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有(yǒu)减振、隔音效果外,还有(yǒu)利于越过共振區(qū),衰减高频振动和噪音的作用(yòng)。
☆ 為(wèi)减少分(fēn)子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分(fēn)子泵的影响,在分(fēn)子泵的四个支柱下装有(yǒu)四个橡胶垫以起到隔振作用(yòng)。
☆ 涡轮分(fēn)子泵的应用(yòng)特点;工作压力范围宽,在 10-1 ~ 10-8 pa 范围内具有(yǒu)稳定抽速;起动时间短,能(néng)抽除各种气體(tǐ)和蒸气; 分(fēn)子泵适用(yòng)于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用(yòng)。
☆ 也可(kě)用(yòng)来作為(wèi)离子泵、升华泵、低温泵等气體(tǐ)捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用(yòng),这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物(wù)的真空环境。