双焦干涉球面微观轮廓仪是利用(yòng)双焦偏振共光路干涉及電(diàn)子共模抑制技术设计的新(xīn)型表面轮廓仪。

本仪器具有(yǒu)分(fēn)辨率高，抗干扰能(néng)力强，无需专门参考面，能(néng)自动扫描采样并显示表面二维轮廓及数据等优点，是目前國(guó)内外首次研制成功的能(néng)用(yòng)于各种球面轮廓非接触检测的精密仪器。

经实测，本仪器的纵向分(fēn)辨率可(kě)达 0.1mm数量级，横向分(fēn)辨率小(xiǎo)于2mm，曲率半径范围為(wèi) ±R5～±30，达到了目前國(guó)际先进水平，能(néng)满足大部分(fēn)显微物(wù)镜及其它球面的表面轮廓测量。可(kě)广泛应用(yòng)于光學(xué)行业，精密机械行业及相关科(kē)研部门的球面轮廓的精密检测。http://www.zhenghangsy.net